第五十章 離子注入機

「世哲！」凌世哲聽到有人喊他，會頭一看是李莉，她正站在停在公路邊的一輛汽車旁。

看到李莉他突然不知道該怎麼面對他，自從元旦那天夜裡跟她吵了一番后，就一直都沒有回去，一直住在他新收的二房家裡。現在原配找上門來，他感到一陣心虛。

他自認自己不是一個**之徒，甚至還看不起那些到處包**的有錢人，但現在他跟那些有錢就變壞的男人有什麼不同，他還有什麼資格來鄙夷他們？看見李莉站在不遠處的車旁靜靜的望著他，凌世哲羞愧的地下了頭。

李莉慢慢的走到他跟前，說道：「世哲，你什麼時候回家，阿姨在家裡給你做了你最愛吃的菜，等你回家吃飯呢。」

聽到李莉的話，凌世哲更是羞愧的無地自容，看著她的眼睛，說道：「李莉，對不起。」

李莉眼淚瞬間彪了出來，哭了好一會，把眼淚收了，說道：「世哲，記得晚上回家吃飯。」

說完，李莉轉身走了，上車前，她又轉個身來說道：「世哲，不要把她帶回家裡來好嗎？」

顯然她已經知道了趙曉芸的事情，這幾天凌世哲都沒有回家，天天往邵氏影城旁邊的別墅跑，他對自己的行為又沒有做任何掩飾，李莉自然很快得就知道了。但是她沒有鬧，只是哭了一會就接受了這一切，說白了，這個世界始終是男人的世界，香港更是如此，哪怕就是有了婚姻法也是如此，她只能默默的接受。

凌世哲嘆了口氣，也沒有心情回公司了，找了間上檔次的茶餐廳坐了一個多小時，看時間差不多了就回了淺水灣的別墅。

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「凌少，請看，這一台就是重新設計的離子注入機的樣機，目前表現還不錯，它現在還在測試當中，在隔一段時間沒什麼問題，就可以定型生產了，凌少你在加拿大的工廠很快就會用上了。」

凌世哲自那天回過淺水灣的別墅后，家人之間的矛盾已揭開，一家人重新回到了正常生活，現在的他有了兩個女人，他每隔幾天都要去新別墅住兩日。

今天，他來到離香港大學不遠的安布雷拉工藝實驗室考察離子注入設備的，前幾天就接到克里斯托弗的報告，離子注入設備已經研發成功。負責解說的是理工大學的邱明教授，他是國際離子學的權威，這台高能離子注入機就是在他和克里斯托弗一起搞出的。

離子注入機是晶元加工摻雜中要用到的設備。

摻雜是降可控數量的所需雜質摻入晶元中的特定區域內，從而改變半導體的電學性能。簡單來說，就是在晶元中被刻蝕機刻出的還沒有成行的晶體管半成品中，摻入一定的雜質，使那些還沒有成行的晶體管生成合格的晶體管。

在晶元製程工藝中，晶元原料晶元上面是沒有晶體管的，它是經過投影光刻、刻蝕、摻雜后才形成的。

具體來說，就是晶元工廠先把晶元設計師設計的晶元圖首先製程晶元電路光刻板，然後在交給光刻機在晶元片上進行投影曝光，晶圓片上塗抹的光刻膠裡面含有感光劑，經過顯影工序后，晶圓片上就顯現出了晶元的電路圖；然後在交給刻蝕機把電路圖給刻蝕出來。

經過這幾道複雜的工序后，晶圓片在高倍顯微鏡下面就會看到的一個個小小的凸起，這就是晶體管的雛形，但這還不行，這些晶體管還只是一個個形狀，還不具備晶體管的任何功能，還要進行摻雜才會變成真正的晶體管。

在晶元中摻入磷或其他五價元素就會形成n型半導體；摻入硼或其他三價元素就會形成p型半導體。

一句話，就是通過摻入不同雜質在晶圓片上形成一個個晶體管。

我們在半導體晶元上那些肉眼看不見，只有在高倍顯微鏡下才能看到的晶體管就是這麼製造出來的。

人們有時候會問，在一個小小的晶元上是怎麼做到幾萬甚至幾億個晶體管得？你們是怎麼把晶體管做得那麼小的，甚至達到了納米級，你們又是怎麼把那麼小的晶體管按上去的？實際上晶體管不是按上去的，都是通過光刻工藝刻蝕並摻雜后形成的。而微米級、納米級晶元，是指晶元中晶體管之間的間距，不是指晶體管的大小，晶體管之間的間距越小，相同面積的晶元上晶體管的數量就越多。晶體管之間布滿了中間線，把各個晶體管給連接起來。

凌世哲接過邱明遞過來的數據記錄資料，翻開，上面全是離子注入機的各種運行記錄，加工產品的品質記錄等等，然後又在顯微鏡下看了下加工的樣品，最後又看了看產品的各種檢測報告，感到非常的滿意，問道：「應該到達商業應用了吧？」

邱明回答道：「如果這台樣機在運行上沒有問題，結構上在優化一下，就可以進行商業化生產，凌少，以前對半導體的摻雜都是用的擴散法摻雜工藝，而利用離子注入機進行摻雜是60年代才開始的，但技術一直不成熟。我們的這台離子注入機在技術上完全的成熟，機構簡單、體積小，保養、維護、維修上簡單方便，摻雜品質好，標靶精度高，跟以前的摻雜方式比起來，有太多的優勢了。」

「摻雜后的退火你們採用的是什麼退火工藝？」

離子注入摻雜技術有個缺點，會對晶格造成損傷，因此在離子注入后需要進行退火處理來消除這些缺陷。

「我們採用的是電子束退火工藝，我們同時也試驗過激光退火工藝，但與激光退火相比，電子束退火束班均勻性較好，能量轉換效率可達到50%，而激光退火只有1%，比它高多了。」

電子束退火是利用電子束照射半導體表面，使其中的離子注入層在極短的時間內達到很高的溫度，從而實現消除損傷的目的。它的加熱過程進行得非常快速，加熱僅僅限於表面層，因而能減少某些副作用。

「這種技術成熟了嗎？」

「成熟，完全的成熟。」邱明回答道，臉上充滿了自豪的表情，又繼續說道：「凌少，離子注入和電子束退火整套工藝，全部採用自動化處理，能夠大大的減輕工人的勞動強度，整套設備只需2個人就可以輕鬆的完成，設備相當可靠。」

「好，太好了，有了這套設備，我們的晶元生產成本將會大幅降低，成品率也會大幅提高，生產效率也會成倍增加。什麼時候可以完成定型生產？」經過這麼長時間，投入了這麼多的資金，終於看到些成果，凌世哲開始迫不及待的想要馬上把這些設備投入使用。

邱明沒有回答他的問題，而是在站在一旁一副欲言又止的樣子，凌世哲很快注意到他的表情，問道：「怎麼了，邱教授？」

見他問道，邱明不能不回答，說道：「凌少，我認為，現在還不忙把這套設備投入生產使用，到時可以在加拿大的晶元工廠安裝一台進行實驗性生產看看實際使用效果如何，如果有不合適的地方我們可以在修改完善，凌少你不是要在今年年底的時候，會再次的把晶元工廠升級到8微米製程工藝嗎？現在離年底還有整整一年的時間，有了這一年的時間來檢驗這套設備完全夠了，到時候我們利用工廠升級的時候在把他安裝完成不是更好？「

凌世哲想了想說道：「我同意你的建議，行，就等一年再上。不過邱教授，根據摩爾定律，半導體技術是要等到18個月集成電路才會增加一倍，雖然我公司已經早早的開始了8微米甚至7微米工藝的研究，但年底就開始升級~~~~我估計他們還拿出來。」

「不，凌少我們可以這麼做，建立一個小型的工藝實驗性工廠，專門從事8微米製程工藝的研究，等技術成熟后，就把8微米這套工藝安裝在一個晶元工廠中，等8微米工藝在工廠中運行沒有任何問題，我們在把所有的工廠的生產線升級到8微米製程工藝，同時小型實驗性工廠開始進行7微米以下工藝研發，凌少你看怎麼樣？」

凌世哲仔細想了想，發現按照這個辦法來，很適合半導體發展的規律，打個比方來說，工藝實驗室研究出8微米製程技術后，拿到實驗性工廠開始生產，8微米晶元就可以小批量的上市銷售，由於產量小，還是剛剛出來的，可以試試市場的反應，價格上可以賣到最高，先期就可以收回部分研發投入。

當實驗室工廠沒什麼問題后，又轉入一座標準型的工廠進行生產，這個時候市場上8微米的供貨量加大，價格上在適當的下調部分，這個時候人們完全已經接受了8微米晶元。到時候所有的工廠都加入到8微米晶元的生產，大規模鋪貨。

如果人們不接受，到時候也可以根據市場的需求對晶元進行改進，這樣一來不會產生新誕生的晶元不符合市場造成大規模的滯銷，從而造成大規模的虧本，就算出現滯銷也是極小規模的，因為還沒進入標準工廠，還在試驗工廠的時候就已經反映出新晶元到底符不符合市場的需求，符合就大規模生產，不符合可以隨時叫停，並對將晶元進行改進，反正是試驗工廠嘛，這點小損失還是能夠承受得了的，再說了，我們還可以把這些晶元進行便宜處理嘛，這樣一來就不會造成什麼虧損了。

想通了這裡面的關節，凌世哲當且同意了邱明的提議。

參觀完了離子注入設備后，凌世哲又參觀了其他試驗項目，特別是分散式光刻機和電耦合高能等離子體刻蝕機，在刻蝕機研究室裡面看到了王海華和克里斯托弗。

整個房間裡面到處都是電纜和各種大大小小的機器設備，王海華和克里斯托弗站在一推儀器中間，周圍十來個大學生和幾個安布雷拉公司的工程師，還有一些工人在進進出出。

他們兩人沒有發現凌世哲的過來，兩人的注意力全都放在面前的儀器上面，克里斯托弗手裡拿著一張工藝圖，看了又看，然後又對著儀器看了一遍，說道：「王，不行，還是不行，不是我們思路有問題，我們的方向是對的，設計上也沒有問題，而是我們現在的硬體環境還達不到要求，我們唯一的辦法只有等到硬體達到了要求，這個機器才能達到公司使用的標準。」

王海華知道克里斯托弗說得是對了，但他有點不甘心的說道：「我想試試有沒有別的思路的可能。」

「不，王，這個是最正確的思路，別的都不行，有各種各樣的問題，而且你看，boss上面提到的技術要點，已經找到了解決的辦法，我們已經做了無數遍試驗，都證明其正確性，只是因為現在的科技水平還太低，我們還達不到要求罷了，只要我們一直沿著這條路走下去，總有一天我們會成功的，不要試圖去找別的路的，這條就是最好的路。」克里斯托弗指了指手上的資料說道。

這時旁邊一名工程師轉身看到凌世哲喊道：「boss。」

克里斯托弗和王海轉身看到他，凌世哲笑著對他們二人說道：「我這裡有一份暫時的替代方案，你們看看。」

接過助手遞過來的公文包，凌世哲從裡面拿出一個厚厚的資料袋，交給二人。

王海文接過資料袋並沒有打開，而是對著凌世哲說道：「凌少，這裡不是說話的地方，走，我們到辦公室去說。

看了看這裡進進出出的人，的確不是說話的地方，凌世哲點點頭。

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