第四十九章 光刻機

「怎麼了，看你們的表情，難道碰到什麼難題了。「凌世哲看到三位的表情感到非常的奇怪，不至於吧，技術要點全都跟你們點出來了，你們按部就班的還搞不出來？

徐宏博說道：「凌少是這樣的，cmos工藝設計我們現在已經完成了60%，現在關鍵的是我們被當中的電感耦合等離子體刻蝕機的問題上遇到了障礙，我們發現要想解決這個問題非得花上10年時間以上。」

凌世哲明白了，徐宏博所說的電感耦合等離子體刻蝕機，簡稱icp，是晶元光刻工藝中必不可少的一個關鍵設備。

這種設備在歷史上誕生在90年代初期，icp誕生后就迅速得到普及，在半導體晶元工藝生產中一直都在使用，知道他穿越前一直都還在用。

它是一種高密度的等離子體刻蝕設備，特點是具有低壓，簡單的氣體混合；改進的可重複性，最關鍵是它對集成電路的刻蝕中對集成電路的集成度得提高上沒有任何上限，不管你的集成電路是微米級，還是納米級，哪怕就是到了埃米級他都一樣能夠勝任。而其他的刻蝕機就不同了，他對集成度都有上限要求，集成度達到了上限就必須更換，可以說icp刻蝕機未來的發展方向。

正式因為它的這些優點，凌世哲當初交給王海華的資料中才會帶有icp刻蝕機的資料，雖然在資料中他點出了理論方向和關鍵技術要點，但icp刻蝕機技術太過複雜，憑著目前的條件還不能把它給生產出來，這已經超出了目前的技術能力範圍。

歷史上要到91年才生產出世界第一台icp，又經過了近10年時間才發展成熟。

現在才71年，顯然還達不到製備的條件。

凌世哲閉著眼睛想了想，問道：「除了icp刻蝕機以外，還有其他障礙沒有？」

「現在問題就卡在這個刻蝕機上，只要刻蝕機的問題解決，那麼整個工藝就算大功告成。」王海華說道。

「不錯嘛，進度很快嘛，就連分散式投影光刻機的技術問題你們也解決了？」凌世哲說的分散式投影光刻機是光刻機的一種，它不是用來對硅晶圓進行刻蝕的，而是用來曝光的。在晶元個生產過程中，硅晶圓表面要塗抹上一層抗蝕劑，那是一種帶有芳香味的具有一點黏度及顏色的液體，光照后能改變抗蝕能力的高分子化合物，也就是俗稱的光刻膠。

光刻膠裡面含有感光劑，把它塗抹在晶圓片上烘乾后，在交給光刻機進行投影曝光，就跟攝影照相一樣。

光刻機在最早使用的是接觸式光刻機，後來又發展出接近式光刻機，它是由接觸式光刻機的改進而來的。

凌世哲的加拿大工廠所使用的光刻機就屬於接觸式光刻機，它是由日本尼康公司生產的，尼康也是世界上第一個發明光刻機的公司。凌世哲搞的光刻機是後來才出現的，他跳過了接觸式、接近式光刻機的範疇，直接進步到分散式光刻機。

它屬於投影式曝光技術範疇，每一步只投影一個曝光場，曝光完成後步進到另一個位置進行曝光，依次完成整個晶圓片的曝光。這種光刻機比上面兩種光刻機要先進的多，使用分散式光刻機，生產晶元的集成度也要比前兩種光刻機高上很多。

「小凌，那個分散式光刻機，我們已經完成了百分之六十的設計，要全部完成設計還要等一段時間，這個機器雖然也是相當的複雜，但我們有信心能夠在今年年底以前完成全部的設計，明年二三月份就會製造出第一台樣機出來。現在關鍵的是我們被卡在了icp刻蝕機的技術上，我們這次來就是看小凌你有沒有什麼解決的辦法。」王海華不好意思的說道，本來工藝設計委託給了他們去，技術要點都點出來，只需要按部就班就可以，但是現在兩個學校召集了全部的精幹力量都完不成，只好來找凌世哲要解決辦法，他們三人都感到非常的臉紅。

凌世哲卻沒有怪他們的意思，icp刻蝕機又被稱為高能等離子刻蝕機，技術上極端的複雜，而且又多變數，現在不要說在香港，哪怕就是拿到美國，憑著目前的技術條件也搞不出來，哪怕就是10年以後搞出來，都比歷史上整整提前了10年，他們能夠做到這一步都已經很不容易了。

現在cmos工藝設計已經進行得差不多要完成了，現在卡在刻蝕機上面，遲遲都不能夠完成，難道要真的等10年？凌世哲否定了等10年的想法，可是不等又有什麼辦法來迅速的攻克它呢？徐宏博已經說的很清楚了，現在不是技術上我們不能夠解決，而是現在的科學技術條件還達不到它的要求，只能夠等到技術條件達到了要求才能完成，這是急也急不來的。現在可不是後世，科技發展達到了極高的程度，現在這個時代的科技比起後世來說，太落後了。

如果不想等待，那就只有一個辦法，重新找一個不那麼複雜的刻蝕機來暫時的替代它，等到icp刻蝕機完成以後，在把它換回來。可一時之間凌世哲又去那裡找可以替換的刻蝕機呢？

想了半天凌世哲也沒想出辦法來，抬頭看到三位老教授一直在看著他，一時之間有點不好意思，說道：「不好意思三位教授，我走神了，我一直在想那種刻蝕機不那麼複雜，能夠先暫時得用著來，等到icp技術成熟以後，在使用它。」

「那裡，那裡，我們沒有完成凌少設計任務，還要來打擾凌少，是我們不好意思才對。」三位老先生急忙說道，徐宏博客套了兩句后，不確定的問道：「剛才聽凌少的意思，難道你還有好幾套其他的光刻機的技術解決方案嗎？」

凌世哲下意識的點了點頭，根本沒有認識到這樣有多麼的不妥。

王海華和dr.全呆了，好幾套光刻機的技術方案，這小子是個**嗎？光是你那個電耦合等離子體光刻機就已經讓我們傷透了腦筋，現在你小子還有好幾套其他光刻機技術解決方案，你還要不要人活了！三人感覺自己的幾十年都活得狗身上了，看看人家，這人比人得死，貨比貨得扔。

凌世哲看到三人望著他，眼裡充滿幽怨眼神，反應過來，剛才自己表現打擊了他們，事已至此他也不好說什麼，想了想，說道：「這樣吧三位教授，我一時想不出什麼辦法，給我幾天時間好好想想好嗎？」

三人互相看了看，點了點頭，dr.說道：「好得凌少，今天我們來這的目的已經說完了，我們也改告辭了，再見。」

三人站了起來，凌世哲下樓把他們送到了公司門口，等三人上車離去后，凌世哲才轉身。

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